Động cơ piezo có nhiều loại, một trong những loại quan trọng có nhiều ứng dụng hiện nay được người Nhật, người Mỹ và châu Âu nghiên cứu là động cơ siêu âm (ultrasonic motor).

Đã có hai người Việt Nam làm luận án về vấn đề này tại châu Âu. Trong luận án của tiến sĩ Lê Đình Tuân trình bày về "Phương pháp phần tử hữu hạn cho loại động cơ đĩa tròn", và luận án của Nguyễn Trần Chân trình bày "Phương pháp phần tử hữu hạn cải tiến với kỹ thuật smoothing technic cho động cơ thẳng".